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半導(dǎo)體烘烤設(shè)備

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精密熱板光刻膠烤膠臺堅膜烘膠臺

精密熱板光刻膠烤膠臺堅膜烘膠臺光刻膠在曝光完成后，光刻膠需要經(jīng)過再一次烘烤，因為這次烘烤在曝光后，所以稱為“曝光后烘烤"，簡稱后烘或堅膜，英文為Post Exposure Bake（PEB）。

產(chǎn)品型號：JS
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-09-17
訪問量：1210

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產(chǎn)品詳情

光刻膠在曝光完成后，光刻膠需要經(jīng)過再一次烘烤，因為這次烘烤在曝光后，所以稱為“曝光后烘烤"，簡稱后烘或堅膜，英文為Post Exposure Bake（PEB）。

曝光后精密熱板光刻膠烤膠臺堅膜烘膠臺PEB烘烤的目的--通過加熱的方式，使得光化學(xué)反應(yīng)能夠充分完成。

對于酚醛樹脂體系的光刻膠，PEB可以擴散感光劑以消除駐波效應(yīng)。并且，PEB溫度不同時，感光劑的擴散距離不同，消除駐波的效果也不一樣。PEB在110度時，消除駐波效應(yīng)明顯。

對于化學(xué)放大型光刻膠，在后烘過程中，光酸起到催化光刻膠樹脂的去保護反應(yīng)(Deprotection Reaction)，又稱為脫保護反應(yīng)。

大量實驗表明，烤膠臺烘烤溫度的起伏是影響線寬均勻性的主要因素之一。在設(shè)置后烘工藝時，對熱盤溫度均勻性的要求一般比軟烘的要求更高。

精密熱板光刻膠烤膠臺堅膜烘膠臺性能

智能型烤膠機

加熱尺寸：220*220mm（可定制）,適用于?200毫米（8英寸）圓片或200x 200毫米方片以下尺寸產(chǎn)品；

溫度范圍：RT～300°C

溫度精度：0.1°C；

溫度均勻性：≤±0.5℃；

電動頂針調(diào)節(jié)高度: 0～30mm；

加熱臺表面：耐腐蝕硬質(zhì)陽極氧化鋁制成；

控制器單元：7寸全彩觸摸屏，高級PLC控制，實現(xiàn)在指時間內(nèi)自動升降，可以定時取片；

后烘精密熱板光刻膠烤膠臺 PEB烤膠機堅膜烘膠臺用途

精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，掩膜版烘烤，柔性線路檢測，穿戴技術(shù)傳感器校準(zhǔn)，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。適用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。

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精密熱板 光刻膠烤膠臺 堅膜烘膠臺光刻膠在曝光完成后，光刻膠需要經(jīng)過再一次烘烤，因為這次烘烤在曝光后，所以稱為“曝光后烘烤"，簡稱后烘或堅膜，英文為Post Exposure Bake（PEB）。

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