前烘氮?dú)夂嫦?，硬烘潔凈烘箱?yōu)化光刻膠的光學(xué)吸收特性，提高光刻膠對(duì)襯底的黏附性

前烘氮?dú)夂嫦?，硬烘潔凈烘?/strong>用途

  前烘可在熱烘板或氮?dú)夂嫦渲羞M(jìn)行,本課題采用的熱風(fēng)烘箱為雋思氮?dú)鉂崈艉嫦洌捎谠诠娘L(fēng)烘箱中對(duì)流烘烤將會(huì)使前烘進(jìn)行的更加均勻，所以在鼓風(fēng)箱中前烘的效果將會(huì)更理想。

前烘是在涂膠結(jié)束后進(jìn)行,它的作用有以下幾個(gè)方面

驅(qū)趕膠中的溶劑

提高膠對(duì)襯底的黏附性

提高膠的抗腐蝕能力

優(yōu)化膠的光學(xué)吸收特性

提高涂膠的均勻性

提高條寬控制能力

通過(guò)前烘，基片上的光刻膠基本固化。

前烘氮?dú)夂嫦?，硬烘潔凈烘?/strong>性能：

潔凈度：Class100;     

溫度：RT+15～200℃；
氣體：N2 

計(jì)時(shí)功能：0-99H99M99S 

設(shè)備材質(zhì)：內(nèi)部SUS304不銹鋼           

工作尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×550

（可定制）          

網(wǎng)板：活動(dòng)式2塊

前烘氮?dú)夂嫦?，潔凈烘箱適用性：

氮?dú)夂嫦湟策m用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研.

真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍： RT ～300/450/550℃；
溫度波動(dòng)度：≤±1℃
升溫速度：0-10℃/min；
降溫方式：自然降溫或風(fēng)冷+水冷降溫
氮?dú)饪刂疲?可調(diào)試流量計(jì)控制
氧含量檢測(cè)：20～1000ppm
工作尺寸：W350×H350×D400,

高溫?zé)o氧真空烘箱溫控系統(tǒng)：
操作界面：人機(jī)界面+PLC，可一鍵運(yùn)行，多個(gè)工藝編輯；
溫度測(cè)量：K型熱偶；
控制儀表：高精度溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃，