墨點烘箱，墨點氮氣烘箱是半導體行業(yè)，芯片加工工藝流程中打墨點工藝后，將硅片放入烘箱進行墨點烘干專用設備。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-09-17
訪問量：1605

立即咨詢

聯(lián)系電話：021-31434441

產(chǎn)品詳情

墨點烘箱，墨點氮氣烘箱的來源

隨著半導體技術(shù)的快速發(fā)展，芯片的集成度也隨之不斷提高，使得芯片的制作工藝日趨復雜。為了保證較高的成品率，對整個芯片加工工藝流程和裝置設備的要求就會更加嚴格。在曝光過程中，由于曝光系統(tǒng)一次曝光的面積大小是有限的，因此在曝光時會產(chǎn)生非全部曝光的芯片。工藝過程中，為了監(jiān)控過程工藝質(zhì)量，需要對這樣的非完整芯片進行標識。

傳統(tǒng)的標識方法主要采用物理墨點的形式對非完整芯片進行標識，主要步驟為：在芯片完成過程工藝及測試后，將硅片放入物理墨點的設備，輸入專用程序，對第一顆非完整芯粒進行打墨點工藝，待打點完成后，將硅片放入烘箱進行墨點烘干操作。

墨點烘箱，墨點氮氣烘箱性能要求：

溫度范圍：RT+10～200℃；

溫度偏差：≤±2.0℃；
升溫速度：≤5℃/min；
內(nèi)部尺寸：

450×450×450mm（4）

500×500×550mm（6）

600×600×700mm（8）

可定制

電源：AC380V 50HZ

輸入氣體：N2
氮氣烘箱結(jié)構(gòu)：
箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼或冷軋板噴塑；
內(nèi)室材料：采用SUS304不銹鋼；
保溫材料：高性能環(huán)保陶瓷纖維；
置物架：2層；
空氣循環(huán)：強制循環(huán)；

氮氣烘箱適用于半導體、電子、液晶顯示、LCD、PCB,CMOS、IC、LCP、PI、BCB、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。潔凈烘箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。

在線咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

上一篇：碳化硅HMDS烘箱，SiC襯底HMDS烤箱工業(yè)烘箱
下一篇：JS外延片烘箱，氮氣潔凈烘箱工業(yè)烘箱

<em id="x48yd"></em>

墨點烘箱，墨點氮氣烘箱是半導體行業(yè)，芯片加工工藝流程中打墨點工藝后，將硅片放入烘箱進行墨點烘干專用設備。

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：

墨點烘箱，墨點氮氣烘箱是半導體行業(yè)，芯片加工工藝流程中打墨點工藝后，將硅片放入烘箱進行墨點烘干專用設備。