智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機干泵密封設(shè)計（電機和所有軸承與真空環(huán)路*隔開）延長了軸承的使用壽命， 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護閥內(nèi)置于泵模塊中， 可根據(jù)需要使用，不會額外增加泵的高度。

極限壓力

2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)

最大入口壓力

1.0 個大氣壓 (0 psig)

推薦的最大連續(xù)入口壓力

2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)

標(biāo)稱電壓下最大出口壓力

1.34 個大氣壓 (5 psig)

入口連接

NW25

排氣口連接

NW16

氣鎮(zhèn)

0.25 英寸美國標(biāo)準(zhǔn)管內(nèi)螺紋（提供 20 µm燒結(jié)插頭）

SAE-2 5/16-24

根據(jù) Pneurop 6602 處理水蒸氣

最大 120 g/h

運行環(huán)境溫度

5-40 °C （41-104 °F）

儲存溫度

–20-60 °C (–4-140 °F)

馬達額定功率

0.5 HP (350 W)； 3? 變頻驅(qū)動

工作電壓

100-127； 200-240 VAC， 50/60 Hz

馬達熱保護

自動熱保護

工作速度

63.33 Hz： 1900 rpm； 45 Hz： 1350 rpm

冷卻系統(tǒng)

風(fēng)冷

重量

僅泵：  24.74 kg （54.5 磅），運輸重量：  28.1 kg （62 磅）

尺寸（高 × 寬 × 長 (mm)）

297 × 260 × 420

泄漏速度（密封排氣口時）

< 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s)

噪音水平

53 +/- 2 dB (A)

入口處振動水平

7 mms-1 rms

計時器

提供一體式計時器

輻射與抗擾性

EN 61236-1:2013，屬 A 類設(shè)備

安全性

通過 EN/IEC 61010 第 3 版認證