無塵烘箱，100級潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵烘箱，100級潔凈烘箱用途:

  無塵烘箱，100級潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)：

1、主要技術(shù)指標：

 無塵等級：Class 100;     

 溫度范圍：RT+10～200℃；

 溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動度：±0.5℃（空載）        

 溫控精度：±0.1℃;        

 工作室尺寸：W600×D600×H500（mm） 可自定內(nèi)部尺寸        

 電源：380v , 50Hz，5KW    

 網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

 潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。

M計裝可編程控制1模式20步驟，zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。

簡單操作的標準計裝

標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設(shè)定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

2、箱體結(jié)構(gòu)：

外殼材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵

內(nèi)膽材料:優(yōu)質(zhì)潔凈T1.5mmSUS304#鏡面不銹鋼或國標鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE；

活動層板:配置2層承重型不銹鋼沖孔拖盤，可根據(jù)實際需要增加

保溫風(fēng)道：厚度100毫米硅酸鋁保溫棉或高密度耐高溫玻璃纖維，保溫隔熱性能好

3、門式結(jié)構(gòu)：

數(shù) 量：單開門

厚 度：100毫米硅酸鋁保溫棉（高溫棉），局部加強安裝鉸鏈和拉手

門 扣：迫緊式壓力把手，美觀，硅酸鋁纖維密封棉條，密封性好，壽命長

4、循環(huán)系統(tǒng)：

循環(huán)系統(tǒng)：強制水平送風(fēng)循環(huán)，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后熱風(fēng)吸入風(fēng)道成為源再度循環(huán)加熱，由此減小能量損耗并保證箱內(nèi)的溫度均勻性，當(dāng)門開、關(guān)動作 引起擾動時，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值

進氣/排氣：

進氣系統(tǒng)：數(shù)量1個，φ30-60mm

排氣系統(tǒng)：數(shù)量1個，φ30-60mm

5、完善的安全保護措施：
     漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器，逆向防止器、門面安全開關(guān)。