前烘潔凈烘箱，半導(dǎo)體工藝烤箱，用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風(fēng)循環(huán)方式。

前烘潔凈烘箱，半導(dǎo)體工藝烤箱

用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到zui高溫度控制精度。無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

前烘潔凈烘箱，半導(dǎo)體工藝烤箱特點

1、內(nèi)箱全部滿焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

2、采用進口SUS304#鏡面不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；

3、平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)進口過濾裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口φ50mm

技術(shù)參數(shù)

1、潔凈烘箱滿足ULSI工藝

2、潔凈烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500（可尺寸）

3、溫度范圍：60℃～300℃

4、潔凈度：100/1000/10000級（可選擇）

5、溫度均勻性: ±1.5%（空載）

6、波 動 度：±0.5℃

7、電    源：380V 50Hz  7.5KW；

8、箱體材料：外箱采用高級冷軋板板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE),保溫材料：超細(xì)玻璃棉；  

9、 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機；

10、加熱方式：不銹鋼電加熱器；

11、溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；

12、控制儀表：進口數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃；

13、超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng)，保證試驗品的安全；

14、控制系統(tǒng)：主要電器件均采用正泰、歐姆龍等元器件；

15、排 氣 口：ф50；

16、隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG。