無塵烘箱箱內空氣封閉自循環(huán)，經耐高溫高效空氣過濾器（100級）反復過濾，使烘箱工作室內處于無塵狀態(tài)。無塵烤箱工作室為不銹鋼結構。工作室內溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
無塵烘箱用途：
用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烘箱特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng)，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class100；
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。
無塵烘箱技術參數：
無塵等級：Class100;
溫度范圍：RT+10～200℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：自定義（mm）
電源：380v,50Hz，
網板：2塊（高度可調節(jié))
更新時間：2021-01-11 
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