選擇HMDS烘箱注意事項(xiàng)

更新時(shí)間：2022-04-13

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選擇HMDS烘箱的容積
內(nèi)腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均適用，4寸晶圓可處理200P/次；
HMDS烘箱真空泵的選擇
根據(jù)腔體容積，選配合適型號(hào)的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。

◆ 全無(wú)油泵，不會(huì)污染真空系統(tǒng)

◆ 采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計(jì)

◆ 體積小巧

◆ 具有更低的極限壓強(qiáng)

◆ 無(wú)任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件

◆ 低噪聲，低振動(dòng)

3.HMDS烘箱輔助功能選擇：

◆HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能

◆HMDS低液位報(bào)警提示功能

◆工藝數(shù)據(jù)記錄功能

◆藥液管道預(yù)熱功能

◆程序鎖定保護(hù)等功能

HMDS烘箱有稱為智能型HMDS真空系統(tǒng)通過(guò)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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